目前，影响金刚石薄膜大规模应用的主要问题之一，是化学气一相沉积的金刚石膜一般是多晶结构，晶粒尺寸一般在l5m到几十 5m之间，由于表面积大，产生较高的表面粗糙度，严重影响金刚石膜在光学和电子学方面的应用。为了克服这个缺点，必须减小金刚石膜晶粒尺寸，虽然机械抛光可以减小表面粗糙度，但金刚石膜